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φ22(φ25)押しボタンスイッチ SEMI規格対応ガードリング AR9R008 AR9P721-5C

【富士電機】

■特長
●当社非常停止用押しボタンスイッチと組み合わせることにより
半導体製造装置に要求されるSEMI規格に準拠可能
(SEMI-S2, SEMATECH Application Guide for SEMI S2-93)
●EMERGENCY OFF銘板を用意
●『EMO』記号付 非常停止用押しボタンスイッチを用意

φ22(φ25)押しボタンスイッチ SEMI規格対応ガードリング AR9R008 AR9P721-5C

使用例

使用例

取付例

取付例

寸法図

寸法図